Микрофоны MEMS (MEMS microphones) / микм SMD04737C6\O\6C\-26\KPCM-MSD4737H12-26dB\циф

Технология MEMS (Micro Electro Mechanical Systems - электромеханические микросистемы) - это изготовление электромеханических устройств методами полупроводниковой технологии. Микрофоны MEMS в сравнении с электретными имеют ряд преимуществ: высо- кую повторяемость параметров при производстве, слабую зависимость параметров от температуры, большое отношение сигнал/шум, хорошую интегрируемость с технологическими КМОП-процессами, используемыми для производства ИМС обработки звука. В электретном микрофоне заряд подложки формируется в процессе изготовления. Если по какой-либо причине заряд уменьшится или исчезнет, то микрофон быстро деградирует и его чувствительность резко снижается. Чаще всего деградация вызывается перегревом. По этой причине электретные микрофоны не применяются при температуре выше 85 °С и их пайка осуществляется вручную, чтобы в процессе пайки температура не превысила допустимого значения. Кремниевый микрофон после изго- товления не имеет заряда. Заряд закачивается в конденсатор, образованный подложкой и мембраной, с помощью специальной схемы,которая поддерживает этот заряд, когда микрофон активирован. В микрофонах MEMS чувствительная к давлению диафрагма формируется непосредственно на кремниевом кристалле. Там же размещается и предварительный усилитель, а в микрофонах с цифровым выходом – и АЦП. Микрофоны с цифровым выходом обеспечивают очень низкую чувствительность к ВЧ- и электромагнитным помехам, создаваемым такими устройствами, как антенны Wi-Fi и генераторы тактового сигнала ЖК-дисплеев. Эти свойства позволяют конструкторам размещать MEMS-микрофоны в удобных (с точки зрения конструктора) местах, легко строить стереофо- нические микрофоны и направленные акустические антенны для приема голоса.